中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库

本实用新型提供一种干涉显微镜，包括光源发生装置、补偿干涉腔，探测臂、信号采集与处理单元；所述补偿干涉腔接收所述光源发生装置产生的光束并进行反射后成为反射光束进入所述探测臂；所述探测臂对所述反射光束进行聚焦形成样品光，并将所述样品光发送给所述信号采集与处理单元；其中，所述探测臂设有第二显微物镜，所述第二显微物镜用于将光聚焦于样品上并将所述样品的结构信息调制成光线返回。该干涉显微镜，通过在补偿干涉腔中插入第一显微物镜，使参考光与样品光均经过完全相同的显微物镜只是顺序不一样，保证样品光和参考光的光程完全相等，避免了因经过光学器件的不一致导致的干涉面上有些点不等光程。