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一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置
钟达; 史浩飞; 邵丽; 张鹏飞; 余杰
2017-05-03
摘要

本发明公开了一种用于转移石墨烯薄膜的生产工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱、下夹具和上夹具；所述下夹具和上夹具用于固定石墨烯薄膜支撑层，所述固定柱上设置有多个凹陷，用于固定下夹具和上夹具。本发明能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时生产工装装置具有结构简单，易于制造的优点。

专利类型发明专利
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