中文版 | English

在结果中检索

CSpace

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Single-mode-resonance interference in photoresist sub-micron waveguide for high exposure depth nanolithography 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2016, 卷号: 154, 页码: 8-11
作者:  Yang, Zheng;  Zhang, Zhiyou;  Wu, Peng;  Xia, Liangping;  Yin, Shaoyun;  Du, Jinglei
收藏  |  浏览/下载：146/0  |  提交时间：2018/03/15
Lithography  Subwavelength  Nanostructure fabrication  Waveguide  Single-mode-resonance